同花顺300033）金融研究中心9月14日讯，有投资者向苏大维格300331）发问， 请问贵公司触及半导体光刻机嘛？？

  公司答复表明，您好，现在大规模批量制作芯片用光刻机最重要的包含DUV深紫外光刻机/EUV极紫外光刻机等，这类光刻机技能工艺和资料难度极高，公司现在不触及此类光刻机的整机制作。DUV和EUV在出产芯片过程中运用的掩摸板，需求直写光刻机机型进行制作，包含激光直写光刻机和电子束光刻机。除掩摸外，激光直写光刻机也可大规模的运用在微纳光学资料、MEMS产品、射频器材、滤波器材、光子芯片等制作。现在公司对外出售的主要是激光直写光刻机。谢谢！

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